メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ『MODEL EX-550 SERIES』

『MODEL EX-550 SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種切替が
可能なメタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータです。

S.P.精度で高精度な計測ができ、全流量制御範囲は応答1sec以内。

RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/
24VDCを選択いただけます。

【特長】
■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
■最大流量：10SCCM～5SLM
■精度：±1％S.P.（25～100％F.S.）、±0.25％F.S.（～25％F.S.）
■S.P.精度で高精度な計測が可能
■ロータリースイッチによるガス種切替可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）