コフロック株式会社 MODEL EX-550 SERIES

N2、Air、H2等が対象!メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータのご紹介

『MODEL EX-550 SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種切替が
可能なメタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータです。

S.P.精度で高精度な計測ができ、全流量制御範囲は応答1sec以内。

RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/
24VDCを選択いただけます。

【特長】
■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
■最大流量:10SCCM~5SLM
■精度:±1%S.P.(25~100%F.S.)、±0.25%F.S.(~25%F.S.)
■S.P.精度で高精度な計測が可能
■ロータリースイッチによるガス種切替可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報MODEL EX-550 SERIES

【標準仕様(抜粋)】
■センサ方式:熱式巻線センサ
■入口最大圧:350kPa(G)
■許容周囲温度:5~50℃
■接ガス部材質
 ・EX-550C(MFC):SUS316L、磁性ステンレス、PTFE
 ・EX-550M(MFM):SUS316L、PTFE
■電気接続:D-sub9ピン HR-10A×2

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カタログMODEL EX-550 SERIES

取扱企業MODEL EX-550 SERIES

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コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

面積式流量計、流体制御バルブ、電子式流量計、各種流体制御装置、 窒素・酸素・オゾンガス発生装置、燃料電池評価装置、脱臭装置、水処理装置等の製造販売

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