コフロック株式会社本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
最終更新日：2022-11-16 11:56:40.0
メタルシールマスフローコントローラ『MODEL 5100 SERIES』
MODEL 5100 SERIES
『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する
メタルシールマスフローコントローラです。
ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。
対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと
なっております。
【特長】
■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
■最大流量：気体 1SCCM～20SLM
■精度：±1％F.S.
■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 メタルシールマスフローコントローラ『MODEL 5100 SERIES』
コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
面積式流量計、流体制御バルブ、電子式流量計、各種流体制御装置、 窒素・酸素・オゾンガス発生装置、燃料電池評価装置、脱臭装置、水処理装置等の製造販売
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