【計測技術2022年12月号掲載】MEMSピラニ―真空計VersaTorrシリーズの製品概要と先端半導体プロセスにおける応用例

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。

化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。

ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。

【特長】
■再現性の高い、高精度なガス供給
■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性
■長期にわたる安定したプロセス制御
■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化

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