薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減　金属除去のデプスフィルター_CUN-E23-ACUN-E23-A

薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能（※）。
リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、
BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。

【特長】
■薬液とろ材の接触時間が長いため、イオン交換容量が大きい
■金属溶出が少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化を実現
■多くの薬液に対応できるよう、2タイプのろ材をラインアップ
■スクリーニング用、スケールアップ評価用、量産用など各種サイズをご用意
■イオン交換樹脂などによる金属イオン除去の代替に
■弊社の他のフィルターと組み合わせて多段ろ過することで、より金属除去効果をもたらす可能性があります

※弊社、社内試験での結果によります。
※オンラインでの製品説明、ハウジングの貸し出し、薬液の分析サポートも行っています。
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