ソルベンタム合同会社『3M（TM）金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中

最終更新日：2024-02-19 19:03:50.0
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薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減（※）！テスト用から量産用まで各種ご用意

薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能（※）。
リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、
BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。

【特長】
■薬液とろ材の接触時間が長いため、イオン交換容量が大きい
■金属溶出が少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化を実現
■多くの薬液に対応できるよう、2タイプのろ材をラインアップ
■スクリーニング用、スケールアップ評価用、量産用など各種サイズをご用意
■イオン交換樹脂などによる金属イオン除去の代替に
■弊社の他のフィルターと組み合わせて多段ろ過することで、より金属除去効果をもたらす可能性があります

※弊社、社内試験での結果によります。
※オンラインでの製品説明、ハウジングの貸し出し、薬液の分析サポートも行っています。
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基本情報『3M（TM）金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中

当製品は、3M特殊粉体成型テクノロジーを用いて
“強酸性陽イオン交換樹脂またはキレート樹脂”と“ポリエチレン支持体”を
強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。

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用途／実績例	本製品は、電子業界において半導体製造プロセスで使用する薬液中の金属低減への要求がさらに高まっていることから開発されました。【用途】 ■PGMEAなどの高純度溶媒やBARCなどの薬液等、半導体向け材料の金属除去【ラインアップ】 ■SCP（イオン交換タイプ）：強酸性陽イオン交換樹脂 ■APP（キレートタイプ）：キレート樹脂 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。