BS-60610BDS ボンバード蒸着源

日本電子株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。
従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。

〇特長
・ライナー大容量化。
・ハイレート化
・大型装置対応。
・厚膜対応。赤外用途への対応も可能
・レート安定化
・低ダメージ・低欠陥・低吸収

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