アズサイエンス株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源

最終更新日：2023-07-12 11:41:40.0
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ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

日本電子株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。
従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。

〇特長
・ライナー大容量化。
・ハイレート化
・大型装置対応。
・厚膜対応。赤外用途への対応も可能
・レート安定化
・低ダメージ・低欠陥・低吸収

※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報BS-60610BDS ボンバード蒸着源

【仕様】
BS-60610BDS:ボンバード蒸着源　本体 6点ライナータイプ
出力：最大 4.8 kW
冷却水：4～5 L / min, 水温 10 ～ 25°C
動作圧力：5×10-5 ～ 1×10-2 Pa

価格情報	価格に関してはお問い合わせください。
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	BS-60610BDS
用途／実績例	【用途】真空蒸着