LEDアニールカタログ

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ
第三の光加熱源です。

加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。
放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。

また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。

【特長】
■加熱効率向上
■高速応答性
■高精度温度計測
■高均一性
■基板表面の加熱が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）