加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現
『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ
第三の光加熱源です。
加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。
放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。
また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。
【特長】
■加熱効率向上
■高速応答性
■高精度温度計測
■高均一性
■基板表面の加熱が可能
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基本情報第三の光加熱源！LEDアニール装置
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■基板表面の加熱 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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