光干渉式膜厚測定装置『Model3100』

『Model3100』は、受光素子にリニアアレー素子を採用し、
高速測定を実現した光干渉式膜厚測定装置です。

スペクトル解析ソフトを標準搭載することにより、多層膜(通常3層まで)の
同時測定および光学定数(n,k)の測定が可能。

各種膜特性に適合したきめ細かなパラメータの設定ができ、より豊富な
各種膜構造の膜厚測定ができます。

【特長】
■高感度高分解能ヘッド(オプション)にて酸化膜換算で70μmまで測定可能
■100倍レンズ(φ0.75μmの微小スポット)も使用可能
■プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能
■さまざまなアプリケーション(磁気ヘッド、FPD、材料研究等)に対応し、
　用途別に試料台作成可能(オプション)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）