ホワイトペーパー『ウェハーの品質と収率の向上　超純水の比抵抗とTOC測定』

『UPW UniCondセンサ』は、大手半導体メーカーとの共同開発により
堅牢な構造と高度な温度補正機能を備えた比抵抗計です。

環境温度やプロセス温度の変化による測定値の変化や
信号ノイズを防ぎ、高い温度補償比抵抗精度を実現。
半導体分野における水質の正確な把握と歩留まりの向上に貢献します。

【特長】
■±0.5％以下の測定精度を実現
■ノイズと水質変化による干渉を区別し、高い信号安定性を実現
■環境的要因による測定値の変化を防ぎ、正確な比抵抗の値を取得
■識別、校正、メンテナンスデータの保存に対応

※テスト評価の結果を確認できる「Case Study」を無料で進呈中。
　カタログ、半導体分野向けの製品資料も＜PDFダウンロード＞よりご覧いただけます。 （詳細を見る）

オンライン微生物検出分析装置『7000RMS』は、超純水（UPW）などの
高純度の水の微生物汚染をリアルタイムで検出する製品です。

レーザー誘起蛍光とミー散乱技術により、微生物を迅速に検出し、
半導体やマイクロエレクトロニクス製造での超純水の高品質維持に寄与。

サンプリングや培養が不要で、製造プロセスの遅延リスクを排除するほか、
消耗品を使用しないため廃棄物の発生もなく、環境負荷低減に貢献します。

【特長】
■水の連続モニタリングを行い2秒ごとに結果を表示
■レーザー誘起蛍光とミー散乱技術を活用し、微生物の含有量を測定
■履歴データの傾向を把握することで、汚染の根本原因の特定に繋げられる
■直感的操作が可能なユーザーインターフェース

★マイクロエレクトロニクス産業における環境持続可能性の重要性や、
　本製品を活用することのメリットを解説した資料を進呈中です。
　詳しい内容は下記ダウンロードボタンよりご覧ください。 （詳細を見る）