プラズマ源 Polygon Physics_製品カタログ

独自の技術である、超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）プラズマ源により、あらゆるサイズと形状のイオンビームや電子ビームの作成が可能です。
また複数のプラズマ源を独立して、同時に動作することにより、柔軟なイオンおよび電子ビームソリューションの設計と製造が出来、幅広いアプリケーションに対応致します。

■特徴
・手のひらに収まる超小型低消費電力
・用途に合わせてイオン源、電子源、プラズマ源、原子源を選択可能
・ビーム形状やビームサイズを変換可能
・フランジの有無で任意の場所に設置可能
・メンテナンス性がよい

■モデル
・TES-GO
・TES-40
・TES-63
・TES-100
・NanoVac
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