ケイエルブイ株式会社 プラズマ源 TESシリーズ_Polygon Physics社製

幅広い用途を網羅した超小型ECR(電子サイクロトロン共鳴)バイポーラ技術によるプラズマ源

独自の技術である、超小型ECR(電子サイクロトロン共鳴)プラズマ源により、あらゆるサイズと形状のイオンビームや電子ビームの作成が可能です。
また複数のプラズマ源を独立して、同時に動作することにより、柔軟なイオンおよび電子ビームソリューションの設計と製造が出来、幅広いアプリケーションに対応致します。

■特徴
・手のひらに収まる超小型低消費電力
・用途に合わせてイオン源、電子源、プラズマ源、原子源を選択可能
・ビーム形状やビームサイズを変換可能
・フランジの有無で任意の場所に設置可能
・メンテナンス性がよい

■モデル
・TES-GO
・TES-40
・TES-63
・TES-100
・NanoVac

基本情報プラズマ源 TESシリーズ_Polygon Physics社製

【スペック】
※TES-40モデルを一例として一部掲載しております。
・使用可能ガス:H₂, He, N₂, O₂, 貴ガス, 分子ガス He
・マイクロ波電力:0.5~5 W (2.45GHz)
・最大エネルギー:5 kV
・フランジタイプ:CF40

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Polygon Physics
用途/実績例 ・中和
・電子化学
・高出力電子線(ビーム)
・エッチング
・スパッタリング
・表面活性化
・ビームライン
・アクセラレーター
・質量分析
・イオンビーム加工
・表面改質

カタログプラズマ源 TESシリーズ_Polygon Physics社製

取扱企業プラズマ源 TESシリーズ_Polygon Physics社製

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ケイエルブイ株式会社

ハイパースペクトルカメラ、マルチスペクトルカメラ、分光器、 (UV~IR)各種光源、波長可変光源、紫外線照射装置、レーザー、 液体ライトガイド、フィルタ、センサ等の光学製品の販売

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