Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社
最終更新日：2024-07-12 10:08:57.0
半自動装置『BATCHSPRAY Solvent』 製品カタログ
半導体装置『BATCHSPRAY Solvent』
当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。
【特長】
■最大150wphのスループット
■設置面積2m2未満
■タンクシステムによる化学物質の再循環
■sic/GaNでプロセス実行可能
■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能
■抽出可能なプロセスチャンバー
■ATEX安全規格
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 半自動装置『BATCHSPRAY Solvent』 製品カタログ
Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社
【取扱製品】 ■BATCHSPRAY Clean Autoload ■BATCHSPRAY Acid Autoload ■BATCHSPRAY Solvent Autoload ■BATCHSPRAY Acid/Solvent Autoload ■BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload ■BATCHSPRAY Solvent ■BATCHSPRAY Acid
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