半導体装置『BATCHSPRAY Solvent』 Siconnex Japan(サイコネックスジャパン)

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に削減【半導体業界向け湿式化学装置】半自動装置

当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。

【特長】
■最大150wphのスループット
■設置面積2m2未満
■タンクシステムによる化学物質の再循環
■sic/GaNでプロセス実行可能
■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能
■抽出可能なプロセスチャンバー
■ATEX安全規格

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.siconnex.com/ja/products/equipment/bat…

基本情報半導体装置『BATCHSPRAY Solvent』

【取扱製品】
■BATCHSPRAY Clean Autoload
■BATCHSPRAY Acid Autoload
■BATCHSPRAY Solvent Autoload
■BATCHSPRAY Acid/Solvent Autoload
■BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload
■BATCHSPRAY Acid
■BATCHSPRAY Solvent

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