株式会社クボタ計装
最終更新日：2024-10-23 16:09:24.0
レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）_K-LE-G200
レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、
高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。
散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって
用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。
■装置の特長
・高速検査（約181秒/12inch）
・レビュー用顕微鏡を搭載
・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能
・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能
・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能 （詳細を見る）
取扱会社 レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）_K-LE-G200
クボタは、ロードセル（荷重センサ）を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。 【取扱製品】 ・デジタルロードセル ・LPG充填シリーズ ・台はかりシリーズ ・指示計 ・トラックスケールシリーズ ・粉粒体機器 ・防爆はかりシリーズ ・廃棄物計量システム ・ホイストスケール（吊りはかり）
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