レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）_K-LE-G200

全1ページ [198KB]
- お問い合わせ
- PDFダウンロード

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、
高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。
散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって
用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。

■装置の特長
・高速検査（約181秒/12inch）
・レビュー用顕微鏡を搭載
・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能
・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能
・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能（詳細を見る）

取扱会社レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）_K-LE-G200

株式会社クボタ計装

クボタは、ロードセル（荷重センサ）を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。【取扱製品】　・デジタルロードセル　・LPG充填シリーズ　・台はかりシリーズ　・指示計　・トラックスケールシリーズ　・粉粒体機器　・防爆はかりシリーズ　・廃棄物計量システム　・ホイストスケール（吊りはかり）

公式サイト

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）_K-LE-G200へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須	通常至急
ご要望必須	購入希望見積もり希望カタログ送付希望価格表送付希望連絡希望訪問希望その他あと文字入力できます。
目的必須	新規導入既存入れ替え試作検討情報収集
添付資料
お問い合わせ内容	あと文字入力できます。【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。