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6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置
WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モード…
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高速応答・低消費電力で駆動できる電磁アクチュエーター
ボイスコイルモーター（VCM）は、永久磁石を使用したモーターの一つです。 VCMは、磁石が作る磁場の中でコイル部のみがリニアに動きます。 コイル部（可動部）は、慣性負荷が小さく与えられた電気信号に…
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余裕の高出力対応設計！あらゆる仕様に柔軟に対応する電磁アクチュエーター
キープ型とは、直線型ソレノイドに永久磁石を組み込んだ構造のもので、「SKWシリーズ」は双安定のソレノイドです。 双安定型は、永久磁石の力によりストロークの両端で可動鉄心を保持でき、2個の吸引コイルの…
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省エネルギー省スペース！あらゆる仕様に柔軟に対応する電磁アクチュエーター
キープ型とは、直線型ソレノイドに永久磁石を組み込んだ構造のもので、「SKシリーズ」は単安定のソレノイドです。 単安定の単コイル型は、無通電時には永久磁石の力で可動鉄心を保持し、逆通電で保持を解除、順…
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騒音を問題とする機器に最適な電磁アクチュエーター
「SHシリーズ」は、コイルに通電して起こる磁力を動力として取り出しアクチュエーターとしたもので、動作時に発生する騒音を無くした構造の直線型ソレノイドです。 リニアパルスモーターの原理を応用し、可動鉄…
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貫通タイプなので無音！騒音を問題とする機器に最適な電磁アクチュエーター！CADデータもダウンロード可能！
「SDシリーズ」は、コイルに通電して起こる磁力を動力として取り出しアクチュエーターとしたもので、動作時に発生する騒音を無くした構造の直線型ソレノイドです。 リニアパルスモーターの原理を応用し、可動鉄…
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電磁アクチュエーター ロータリー型ソレノイド SLFシリーズ
無接触式回転なので無音！往復バネ保持タイプの双安定型ロータリーソレノイド
「SLFシリーズ」は、往復バネ保持タイプの双安定型ロータリーソレノイドです。 株式会社エスクラフトが製造・販売しているSC無音ソレノイドは、コイルに通電して起こる磁力を動力として取り出しアクチュエー…
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無接触式回転なので無音！騒音を問題とする機器に最適な電磁アクチュエーター
「SLシリーズ」は、コイルに通電して起こる磁力を動力として取り出しアクチュエーターとしたもので、動作時に発生する騒音を無くした構造のロータリー型ソレノイドです。 リラクタンス型パルスモーターの原理を…
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簡単・早い・綺麗！防水・防錆・緩み止めに最適なシーラントガン
「ボルトシーラー」は、ボルト、ナット等での固定部を包み込むように圧力をかけながら、細部までシーリング材等を行き渡らせボルトナットを覆うことにより、防水、密封、防錆、緩みをなくすために簡単に早く、綺麗に…
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価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。
小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外は…
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価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行う事が出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。
ＷＬＰは多様化したアプリケーションに対応する為、ＲＦパワーを下部電極に印加（ＲＩＥ方式）又は、上部電極に印加（ＤＰ方式）を実現しております。 ６～８インチのＳｉ、Ｐｏｌｙ-Ｓｉなどのエッチングやポリ…
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本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、BGA…
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本製品は、お客様の仕様に合わせてカスタマイズした製品の一例です。お客様の使用目的に合わせてカスタマイズ致します。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、B…
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ベアリング以外接触部分が無いので、動作音が限りなく小さく静か！音や振動が気になる部分に最適です。
ソラックとは、エスクラフトが製造・販売している無音DCソレノイド（直線・ロータリー）の総称です。 コイルに通電して起こる磁力を動力として取り出しアクチュエーターとしたもので、動作時に発生する騒音…
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