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        レジスト現像アナライザ RDAシリーズ

        フォトレジスト現像速度解析評価装置

        レジスト現像アナライザRDAシリーズは、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行えます。また、リソグラフィシミュレータに必要なレジストモデリングパラメー…

      • 卓上光インプリント評価装置『LTNIP-500』 製品画像

        卓上光インプリント評価装置『LTNIP-500』

        低コストで高解像性を持つ製品をご提供致します!

        当製品は、自動モード離型機能搭載の実験用簡易UVナノインプリント装置 です。プレスしながらUV照射を行ないます。 モールドサイズは、25mm~40mmで、UV照度は0.5mW/cm2になってい…

      • 自動レジスト塗布現像ベーク装置『LITHOTRACシリーズ』 製品画像

        自動レジスト塗布現像ベーク装置『LITHOTRACシリーズ』

        知識と経験を活かし、お客様のニーズに最適な仕様でご提供致します!

        当シリーズは、研究開発用途から生産用途まで、半導体製造プロセスに 関わるあらゆる分野に適応可能なレジスト塗布・現像・ベーク装置です。 自由度の高い設計になっていて、研究開発及び量産仕様に最適で…

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