株式会社清和光学製作所

半導体カセット寸法検査装置『FSMシリーズ』

半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクトを短縮します

『FSMシリーズ』は、FOUP/FOSB/OCの外径寸法測定を行う装置です。 2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能。 様々な角度から、トップフランジ、サ…

カメラマイクロスコープユニット『MS-200-TCD33』

イメージサークルφ33mm対応！専用対物レンズ「M.PlanAPO HRシリーズ」もご用意

『MS-200-TCD33』は、12メガピクセルエリアカメラ（5.5μm、4096×3072） 「CMV1200」や、25メガピクセルエリアカメラ（4.5μm、5120×5120） 「Python…

半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』

1.3メガSWIRカメラ搭載！チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察に好適

『NIR2021-200』は、赤外光の透過・反射特性を利用してシリコンウェハや チップ、MEMS、CSPなど半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です。 1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製…