株式会社ナノテック

研究室向け簡易マスク作製機『MM605』

ローコストで手軽にマスク製作！多品種のデバイス開発に最適

『MM605』は1/5縮小露光の研究室向け簡易フォトマスク作製機です。 各種半導体・MEMS微小構造物製作のためには欠かせない フォトマスクは、特に大学・研究所において種類豊富に必要となります…

マイクロコンタクトプリンター『PA400S』

高精度コンタクト圧制御！簡易的な光ナノインプリント実験も可能

マイクロコンタクトプリンター『PA400S』は、次世代のデバイス製作手法 として注目を集めるmCP（micro contact printing）法や簡易的な 光ナノインプリント（UV－NIL）法…

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。 一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ…

試料裏面マスクアライメント露光装置『BAシリーズ』

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光！ナノテックの露光装置

試料裏面マスクアライメント露光装置『BAシリーズ』は、 従来の露光装置では困難であった試料裏面からのアライメントを 可能にするローコストなマスクアライメント装置です。 本装置では試料の第1面…

実験・研究用マスクアライナー『ES410』

ローコストでフォトリソグラフイに必要な機能を完備！マスクアライナー

『実験・研究用マスクアライナー『ES410』は、ローコストながら フォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナーです。 ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性を備え、各種ユニッ…