掲載開始日：2023-10-05 00:00:00.0
【Sonosys】ソノシス社製超音波洗浄ノズルがSemi Netに掲載
半導体や基板の洗浄の問題を解決します
SONOSYSは、超音波およびメガソニックの洗浄分野で幅広い製品を提供しており、目標は微細なマイクロ・ナノ構造物に対して優れた、損傷のない洗浄結果を実現することです。
SONOSYSシステムを使用することで、ウェットベンチの工程において電力や化学薬品の使用量を節約してより効率化することができます。
≪商品概要≫
非接触単一基板の洗浄には、シングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネル
のいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大
9MHzまでのメガソニックノズルがございます。このメガソニックノズル
のトランスデューサーはメガソニックを生成し、流体(純水など)を通し
てメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。
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非接触単一基板の洗浄には、シングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネル
のいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大
9MHzまでのメガソニックノズルがございます。このメガソニックノズル
のトランスデューサーはメガソニックを生成し、流体(純水など)を通し
てメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。
超音波洗浄装置のスプレーノズルタイプ（メガソニック）のデモ風景です。
左側
1MHzシングルノズル
右側
1MHz及び3MHzデュアルノズル
関連製品
《ソノシス》超音波スプレーノズル
レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品
超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 そこで空気搬送（キャリアエアー）を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。
関連カタログ
取扱会社
・圧縮空気用エアーノズルの販売（マルチチャンネルジェット）（レヒラー社） ・タンク洗浄ノズル（レヒラー社） ・精密スプレーノズルの販売（レヒラー社） ・精密ミストセパレーター/ミストエリミネーター（デミスター）の販売（レヒラー社） ・ブロワー型エアーナイフシステムの販売【水切り/乾燥装置】（ソニック社） ・GPE社製ターボブロワー ・タンク乾燥機（ソニック） ・超音波スプレーノズルの販売（ソニア社） ・空気搬送、空気増幅器、ベンチレーターの販売（セコマック社（旧ベック社）） ・鋳造/塗装用エアレススプレーガンの販売（ジャーケル社） ・ガス切断装置（ガスカッター）（トーチカッティング装置）及び切断火口、切断吹管の販売（オキシリューション社 / エルトレーディング社） ・プラスチックコネクターの販売（ゲスマン社） ・各種ディスペンサー(自社製チュービングディスペンサーTIC型の販売)及び国内シリンジポンプ、消耗品の販売 ・ラテックス機械安定度テスター(旧Klaxon Signals Ltd., 旧Secomak社）の販売 ・工業用機械機器/機械工具の販売/精密機器の輸入販売
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