掲載開始日：2024-12-11 00:00:00.0

【製品情報】マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

モデル GF40

『デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応します』

1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。

用途
■ 太陽電池CVD（化学蒸着）システム
■ ライフサイエンスバイオリアクタ
■ 真空プロセス
■ ナノテクノロジー/MEMS製造
■ プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム
■ マニホールド/ガス供給システムの選択肢

マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』製品画像

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフローコントローラ/メータです。さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異な…

サービス＆サポート

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信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、お気軽にお…

取扱会社

ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品　超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）

公式サイト

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