掲載開始日：2024-10-16 00:00:00.0

【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』

半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo(TM) テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。

業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。

用途
■ 半導体エッチングツール
■ 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
■ 物理蒸着（PVD）システム
■ エピタキシャルプロセスシステム

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』製品画像

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフローコントローラ/メータです。高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。【特長】 ■長…

サービス＆サポート

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信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、お気軽にお…

取扱会社

ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品　超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）

公式サイト

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