掲載開始日：2024-03-06 00:00:00.0

★改訂★カタログ『GP200シリーズ』圧力ベースガスマスフローコントローラ

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。

Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。

GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』製品画像

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。「SLA5850 マスフローコントローラノーマルクローズバルブ」は、高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため…

サービス＆サポート

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信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、お気軽にお…

取扱会社

ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品　超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）

公式サイト

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