掲載開始日：2024-11-06 00:00:00.0

【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』

『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』

超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI（圧力変動耐性）を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧力の変動によるプロセスガス流量への影響を大幅に削減します。GF125に標準で搭載されているMultiFlo テクノロジーは、流量計本体をガスラインから切り離したり、精度を低下させることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせを可能にします。

この特長は、歩留まりと生産性の最大化に貢献する業界最高水準のPTI性能とともに、プロセスラインに設置する圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェアを見直すことで、ガスパネルのサイズとコストの削減に貢献します。

用途
■半導体エッチングツール
■MOCVD
■高清浄オールメタル流路が必要なガス流量制御アプリケーション

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』製品画像

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。その結果、収率と…

サービス＆サポート

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信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、お気軽にお…

取扱会社

ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品　超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）

公式サイト

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