【2024年12月11日(水)〜13日(金)】SEMICON Japan 2024 出展のご案内

ボディ構造の見直し、アクチュエータにPDVFを採用し様々な仕様に対応するアールインワンモデルです。（接続方式1/8～1に対応）

『AMDパート3Rシリーズ』は、さまざまな仕様に対応する 薬液用エアオペレイトバルブです。 圧力性能を高めることにより、使用圧力範囲を拡大、A・Bポートの 使用圧力を共通化しました。操作圧力及び、流体温度性能を向上、 全バリエーション120℃まで対応しています。 【特長】 ■使用圧力範囲を拡大 ■酸・アルカリ問わず 標準で様々な薬液に対応 ■耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PV…

薬液用エアオペレイトバルブのスタンダードタイプ。成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズ。マニホールドも2種類から選択可能

【豊富な接続オプション】（ＡＭＤ※※２、ＡＭＧ※※２、ＧＡＭＤ※※２シリーズ） 樹脂ボディ：スーパータイプ、スーパー３００、ＦーＬＯＣＫ２０／６０、ファイナルロック、ファイナルロック、フレアテック、Ｒｃ、塩ビユニオン ＳＵＳボディ：Ｒｃ、ＳＵＳチューブ出し、二重食い込み 【ミックスマニホールド対応可能】（ＧＡＭＤ０※２Ａシリーズ） 独自の分割ボディ構造により、短納期でミックスマニホール…

選びやすさと使いやすさを追求！

薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプです。 幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。 締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性を向上しました。

薬液・純水供給部の圧力変動をパイロットエアコントロールにより安定化可能。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更可能

■特　長 【高精度・高速応答】 　ダイアフラム構造の高精度圧力安定性・高速応答対応。 　滞留部の少ない流路構造で置換特性向上。 　接液部オールフッ素樹脂で高クリーンレベル・高耐食性。 【圧力変動低減】 　ダイヤフラムポンプからの脈動などを抑止可能。 　生産品やレシピの違いにより遠隔で設定圧力を変更することも可能。 【小型ラインナップ追加】 　接続口径1/4"、3…

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。

供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。 【高シール性】 プロセス安定化に貢献 ● 弁座部の最適設計と超精密加工 ● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制 【高い微小流量制御性】 安定かつスムーズな動作を実現 ● 弁座部形状の最適設計 ● 微小流量でも安定制御 【ヒステリシス低減】 狙いの圧力に確実にミート ● 高品質材料の採用 …

汎用的に真空圧力制御が可能！自由な圧力制御とメンテナンス性が特長の真空圧制御システム

「真空圧力制御システム　IAVBシリーズ」は、一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現した真空圧力制御システムです。バルブと電装部を個別でメンテナンス可能です。 【特長】 ■自由な圧力制御　～スロー排気制御が可能～ 一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現 ワイドなダイナミックレンジは、使用ポンプを選び…