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最終更新日:2017-01-30 09:25:29.0

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掲載開始日:2016-12-15 00:00:00.0

技術情報「ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価(B0230)」を公開

MSTホームページにて、下記分析事例1件を公開しました。
・ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価(B0230)

詳細はMSTホームページをご覧ください。
http://www.mst.or.jp/

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WA(ウエハアナライザー)は、φ76~300mmのウエハを昇温加熱することにより、ウエハ表面に付着している有機汚染物質をガス化させ捕集管にトラップする装置です。そのため、デバイス特性への影響や製造上のトラブルの原因とされるフタル酸エステル系化合物や環状シロキサン化合物などを濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。またヘキサデカンによる換算定量も可能です。

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