掲載開始日:2019-06-12 00:00:00.0
MultiFlo(TM) コンフィギュレータのマニュアルを改訂
- GF125シリーズに用いるMultiFloコンフィギュレータ
弊社の基幹マスフローコントローラ(以下MFC)である、GF125シリーズに用いるMultiFloコンフィギュレータのマニュアルを改訂いたしました。大きな改定は、MFCとパソコンとの通信に用いるケーブルのタイプが変更になったものです。
■ Brooks MultiFloコンフィギュレータとは
Windowsオペレーティングシステム向けのMultiFloコンフィギュレータソフトウェアでは、GF100シリーズ、GF40シリーズ、GF80シリーズ、Celerity/Unitブランドのマスフロータコントローラをガスラインから取り外さず、簡単・素早く、ガスとレンジを再設定することができます。MultiFloテクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術です。プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。
使いやすいMultiFloコンフィギュレータアプリケーションは、市場で最も総合的なガスデータベースを備え、プロセスガスの精度を向上することにより、幅広い用途でMultiFlo対応MFCを使用することができます。
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弊社の基幹マスフローコントローラである、GF125シリーズに用いるMultiFlo™コンフィギュレータのマニュアルを改訂いたしました。
Windowsオペレーティングシステム向けのMultiFloコンフィギュレータソフトウェアでは、GF100シリーズ、GF40シリーズ、GF80シリーズ、Celerity/Unitブランドのマスフロータコントローラをガスラインから取り外さず、簡単・素早く、ガスとレンジを再設定することができます。
すべてを可能にするMFC
モデル GF125 / GF126
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超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI(圧力変動耐性)メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と…
関連カタログ
取扱会社
【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計(ローターメータ) ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品 超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア(ケーブル、バルブ等)
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