【新製品】最高の性能を 最大限に引き出す「GP200シリーズ」のご紹介

最先端半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。

＊ 1センサーで差圧を測定する事により. 流量精度再現性が飛躍的に向上します。
＊ 幅広い圧力、ガス種、プロセスに対応します。
＊ 最先端のバルブアーキテクチャーにより、 より正確で再現性の高い流量制御と応答性を実現します。
＊ ゼロリークバルブにより、「ファーストウェハ効果」を排除します。