掲載開始日:2021-12-17 00:00:00.0
【Lechler及びSonosys】(事例)半導体製造装置向けレヒラー社及びソノシス社製スプレーノズル【精密スプレーノズル及び超音波スプレーノズル】(改善/改良) 0016
半導体洗浄装置には様々なスプレーノズルが必要です。
ウエハーの洗浄に品質低下を起こさない為にも高効率洗浄が必要です。
また、使用する液体(純水や薬液)で洗浄する場合では、精密スプレーノズルが必要となります。
スプレーノズルが多く使用されています。
また、一般的な加圧スプレーノズルの他に、超音波(メガソニックやウルトラソニック)を使用しての洗浄も昨今では増えてきています。
今回は事例を交えたレヒラー社製精密スプレーノズルとソノシス社製超音波スプレーノズルを使用した事例となっております。
両社とも名だたる半導体装置メーカーに数多くの実績が御座います。
是非一度、ご検討頂ければ幸いです。
関連資料
関連リンク
レヒラー社の会社案内です。
ソノシス社製超音波スプレーノズルの動画です。(動画に使用している商品はUS-1です。)
レヒラー社半導体向けスプレーノズルの紹介ページです。
ソノシス社メガソニック及び超音波スプレーノズルの紹介ページです。
ティックコーポレーション スプレーソリューション事業部のホームページです。
ティックコーポレーション 超音波スプレーノズルの紹介ページです。
ソノシス社製、ソニア社製の2種類をご用意しております。
関連製品
レヒラー社製フルコーンノズル(縦軸型)
≪Lechler≫超均一な噴霧分布を必要とする円形噴霧(フルコーン)に非常に優れた特性を発揮
X型べイン(羽根)を採用しており、精密な噴霧分布と継続的なスプレー幅(スプレー角度)を維持します。 X型べイン(羽根)により液体のボタ落ちを防ぎ、幅広いスプレー用途に使用可能です。 ※後継商品として型番490及び419もご確認下さい。
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル(低圧タイプ)
≪Lechler≫均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました!
レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました。特に強力なジェット圧は、60°までのスプレー角度で発揮されます。 小流量でのノズルは、加湿と一般的なスプレーに特に適しています。 散布の形は、異なる塗布パターンをもつ正確でコンパクトなジェットをつくります。 基本的にレヒラーのフラットノズルは、山形散布用にデザインされています。瞬間的な圧力に影響されない…
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル(コンパクトタイプ)
≪Lechler≫均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました!
レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました。特に強力なジェット圧は、60°までのスプレー角度で発揮されます。 小流量でのノズルは、加湿と一般的なスプレーに特に適しています。 散布の形は、異なる塗布パターンをもつ正確でコンパクトなジェットをつくります。 基本的にレヒラーのフラットノズルは、山形散布用にデザインされています。瞬間的な圧力に影響されない…
レヒラー社製ボールジョイント型フラットジェットスプレーノズル
≪Lechler≫スプレーノズルの位置決めを首振り30°の位置で固定出来るボールジョイント型フラットジェットスプレーノズル
ボールジョイントスプレーノズルは、洗浄、脂落し、リン酸塩、そして塗装等の分野で使用されています。最適のスプレー効力を発揮させる為は、適切なスプレー方向、角度が要求されます。
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル(配管押込タイプ)
≪Lechler≫配管に適切な大きさの穴に押込む簡単で安価なフラットジェットスプレーノズル
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴霧分布を描きます。 このスプレーノズルは幅広い用途に使用出来るようにデザ…
レヒラー社製二流体スプレーノズル
≪Lechler≫様々なデザインの二流体スプレーノズルをご用意しております!
特殊なスプレーや流量の必要性に合わせ様々なデザインのレヒラー社製 二流体スプレーノズルをご用意しております。 *自吸式(サイフォン式) *高所にある水槽からの液体スプレー(重力式) *圧力による液体スプレー(加圧式) *ノズルの内部もしくは外部での液体の混合 *フルコーンもしくはフラットスプレーパターン 多くの使用法に対して手動のアクセサリーを使って水流と粒子を調整することができます。…
レヒラー社製フルコーンノズル(縦軸型/横軸型)
≪Lechler≫縦軸型/横軸型フルコーンノズル、クラスターヘッドノズルをご用意しております!
縦軸型フルコーンノズルは、円状にスプレーする部分全体に極めて均一に散布することができます。X型のスワールインサートは開口部が大きいので、運転する上で非常に安全です。縦軸型フルコーンノズルは、色々な角度と流量を持つものを提供できます。 横軸型フルコーンノズルは、例えば固形物のかなり混ざっている液体の密閉空間でのスプレーや消火用に適しています。霧化する液体は、スワールチャンバーに向かって横向きに供給…
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル
≪Lechler≫均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました!
レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました。特に強力なジェット圧は、60°までのスプレー角度で発揮されます。 小流量でのノズルは、加湿と一般的なスプレーに特に適しています。 散布の形は、異なる塗布パターンをもつ正確でコンパクトなジェットをつくります。 基本的にレヒラーのフラットノズルは、山形散布用にデザインされています。瞬間的な圧力に影響されないので、…
レヒラー社製ストレーナー
≪Lechler≫最高圧12bar工業用標準ストレーナーと8barバスケットストレーナーをご用意!
最高圧1.2MPa 工業用標準ストレーナーと0.8MPa バスケットストレーナーをご用意しております。 工業用標準ストレーナーは、1.2MPaまでの作業圧力用、大きなスクリーン面積でスクリーンのメッシュは色分けされています。扱い簡単で堅牢なデザイン、スリムなボディーです。 バスケットストレーナーは、高流量で低い圧力損失のためにデザインされたストレーナーです。ストレーナーには、出口の前にスクリー…
レヒラー社製スプレーノズル据付用アクセサリー
≪Lechler≫TWISTLOC簡易ノズル交換システム、差込式簡易脱着システム等をご用意!
レヒラーの精密スプレーノズル向けアクセサリーを各種取り扱っております。 TWISTLOC簡易ノズル交換システム、差込式簡易脱着システム、アイレットクランプ/リテイニングナット、ソケット/ニップル、ボールジョイト、逆止弁/フィルター、ガスケット/テフロンシーリングテープ等をご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 英語版のカタログをダウンロード頂けます。 …
レヒラー社製横軸型フルコーンノズル
≪Lechler≫特許取得済み横軸型フルコーンノズルで目詰まり解消
一般的な横軸型フルコーンノズルとの違いは、ノズル内部に液体を砕くために必要なインサートがない事です。 即ち、圧力が変動してもスプレー角度は極めて安定します。
レヒラー社製横軸型フルコーンノズル
≪Lechler≫特許取得済み横軸型フルコーンノズルで目詰まり解消
一般的な横軸型フルコーンノズルとの違いは、ノズル内部に液体を砕くために必要なインサートがない事です。 即ち、圧力が変動してもスプレー角度は極めて安定します。
レヒラー社製高インパクトフラットスプレーノズル(トング型ノズル)
≪Lechler≫スプレー角度が鋭角な強力噴射フラット型スプレーノズル
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴…
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル(扇形トング型ノズル)
≪Lechler≫フラッド(広範囲スプレー幅)スプレーノズルで目詰まり解消
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴…
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル(扇形トング型ノズル)
≪Lechler≫フラッド(広範囲スプレー幅)スプレーノズルで目詰まり解消(リテーナータイプ)
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴…
レヒラー社製MEMOSPRAY(フラットジェットスプレーノズル)
≪Lechler≫据付位置を『メモリー』をする事が出来るスプレーノズル
ノズル使用者の代表的な問題点 ・ すり減ったノズルの交換時によるスプレーノズルの位置(角度)の固定の誤り ・ ノズル交換時に、工具が必要である ・ ノズル交換時の紛失による時間ロス 今までの問題点 ボールジョイントスプレーノズルは、洗浄、脂落し、リン酸塩、そして塗装等の分野で使用されています。最適のスプレー効力を発揮させる為は、適切なスプレー方向、角度が要求されます。 特にノズ…
レヒラー社製イージークリップ(フラットジェットスプレーノズル)
≪Lechler≫ 配管に簡単取付、ボール型フラットスプレーノズルを固定するだけで高性能なフラットジェット噴霧が可能に!
ボールジョイントスプレーノズルは、洗浄、脂落し、リン酸塩、そして塗装等の分野で使用されています。最適のスプレー効力を発揮させる為は、適切なスプレー方向、角度が要求されます。
レヒラーの精密スプレーノズルとアクセサリー
レヒラーのスプレー技術は、貴社の生産工程と技術の改善に寄与します!
競争は日ごとに厳しさを増しています。高品質でかつ低価格を要求するお客さまの要望は合理化のためにその持てる潜在能力を極限まで引き出すことにあります。 レヒラーのスプレー技術は、貴社の生産工程と技術の改善に寄与します。本当に必要なことは、計画の初期段階からの信頼できるパートナーを持つことです。レヒラーは計画を円滑に進めることができるように役に立つ測定データを提供し、一般的でないノズルにしてもそれはレ…
レヒラー社製ホロコーンノズル
≪Lechler≫縦軸型ホロコーンノズルと横軸型ホロコーンノズルをご用意しております!
縦軸型ホロコーンノズルは、冷却やガスの洗浄、吸収工程、ダストコントロール、製品加湿、オイル塗布、空気加湿等の微細で均一なホロコーンスプレーを必要とする時に効果的であることが証明されています。スワールインサートにある渦巻状の溝が液体を効果的に回転し、その結果、霧化された液体の接触面が非常に狭い粒子のスペクトルのなかで著しく増加します。このことが大量に送り出すための好ましい条件を作り出すのです。 横…
ふわっと塗布して塗着効率アップ!『超音波スプレーノズル』
ピエゾの振動で塗布液を霧化!無加圧で飛散・跳ね返りも少ない!幅広い流量に対応
ソニア社製『超音波スプレーノズル』は、ピエゾの振動を利用して液体を振動。 きめ細かい粒子を形成し、噴霧します。 流量10mL/minから100mL/minまでの液体に幅広く対応できるほか、 液体に圧力を加えないため、飛散・跳ね返りが少ないのも特長です。 塗布液のムダがなくなり、大掛かりなブースも不要。 塗布・加湿・消毒などの用途に適しています。 【特長】 ■目詰りしにくく…
レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル≪最新型≫
ノズル内と出入口の径が同じで詰まりにくいノズル。独自構造で特許取得済。独自設計で目詰まりがしにくい!ノズル490/491シリーズ
≪Lechler≫レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル、型番490/491シリーズは、ノズル内が滑らかな独自構造で、目詰まりがしにくいノズルです。 通常のノズルの場合、ノズル内の径と出入口の径が異なり、旋回流を作る際に目詰まりが起きるデメリットがありました。 490/491シリーズであれば、ノズル内の径と出入口の径が同じなため滑らかな旋回流で目詰まりが起きにくい利点があります。 【特長…
レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル(型番:419)大流量タイプ
≪Lechler≫独自構造で特許取得済490/491型番の大流量タイプ 目詰まりし難く、圧力変動によるスプレー角度も一定に
一流体縦軸型スプレーノズル490/491シリーズから姉妹品である419シリーズ(大流量タイプ)が登場。 ノズル内が滑らかな独自構造で、目詰まりがしにくいノズルです。 通常のノズルの場合、ノズル内の径と出入口の径が異なり、旋回流を作る際に目詰まりが起きるデメリットがありました。 このスプレーノズルであれば、ノズル内の径と出入口の径が同じなため滑らかな旋回流で目詰まりが起きにくい利点がありま…
《ソノシス》超音波スプレーノズル
レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品
超音波スプレーノズルで形成された粒子(液滴)はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 そこで空気搬送(キャリアエアー)を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。
超音波アトマイザー(ノズル)動画
設備投資とランニングコストの削減を実現します。
ピエゾセラミックの振動による超音波スプレーノズル(アトマイザー)に伝わり、そこで液体膜を振動させ、きめ細かい粒子を形成、噴霧します。加圧なしで液体が供給され、微細な粒子を噴霧させることができます。最小流量10ミリリットル/分から最大流量100ミリリットル/分の液体まで幅広く対応します。 液体に圧力を加えないため、飛散や跳ね返りが非常に少なく、塗布液のムダが無くなり大掛かりな塗装ブースも不要です。 …
【Lechler】レヒラー社製二流体内部/外部混合スプレーノズル
≪Lechler≫様々なデザインの二流体スプレーノズルをご用意しております!
レヒラー社製二流体微噴霧スプレーノズルは高精密な噴霧を得るために定量のエアーを使用します。 空気圧を利用して噴霧する為、粘度の高い液体の噴霧に利用される事もあります。 二流体微噴霧スプレーノズルの液体搬送システムは3通りあります。 ○サイフォン型 ○重力型 ○圧力(加圧)型 これら液体搬送の方法は必要な粒子径に応じて手動または自動で増強されます。 スプレー形状はフラット(扇形)、…
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル(高圧用ノズル)
≪Lechler≫均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました!
レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました。特に強力なジェット圧は、60°までのスプレー角度で発揮されます。 小流量でのノズルは、加湿と一般的なスプレーに特に適しています。 散布の形は、異なる塗布パターンをもつ正確でコンパクトなジェットをつくります。 基本的にレヒラーのフラットノズルは、山形散布用にデザインされています。瞬間的な圧力に影響されないので、…
【Sonaer】ソニア社製超音波スプレーノズル
無加圧で微粒子を噴霧!ピエゾセラミックの振動による霧化!!消費電力が小さくエネルギーコストが安い!!
ピエゾセラミックの振動による超音波がスプレーノズル(アトマイザー)に伝わり、そこで液体膜を振動させて極め細かい粒子を形成させて噴霧します。 加圧なしで液体が供給されて微細な粒子を噴霧させる事が出来ます。 流量は型式により異なりますが、最小流量10ml/min~最大100ml/min分の液体まで幅広く対応しています。 液体に圧力を加えない為、飛散や液体の跳ね返りが非常に少なく塗布液の無駄がなく…
関連カタログ
取扱会社
・圧縮空気用エアーノズルの販売(マルチチャンネルジェット)(レヒラー社) ・タンク洗浄ノズル(レヒラー社) ・精密スプレーノズルの販売(レヒラー社) ・精密ミストセパレーター/ミストエリミネーター(デミスター)の販売(レヒラー社) ・ブロワー型エアーナイフシステムの販売【水切り/乾燥装置】(ソニック社) ・GPE社製ターボブロワー ・タンク乾燥機(ソニック) ・超音波スプレーノズルの販売(ソニア社) ・空気搬送、空気増幅器、ベンチレーターの販売(セコマック社(旧ベック社)) ・鋳造/塗装用エアレススプレーガンの販売(ジャーケル社) ・ガス切断装置(ガスカッター)(トーチカッティング装置)及び切断火口、切断吹管の販売(オキシリューション社 / エルトレーディング社) ・プラスチックコネクターの販売(ゲスマン社) ・各種ディスペンサー(自社製チュービングディスペンサーTIC型の販売)及び国内シリンジポンプ、消耗品の販売 ・ラテックス機械安定度テスター(旧Klaxon Signals Ltd., 旧Secomak社)の販売 ・工業用機械機器/機械工具の販売/精密機器の輸入販売
【Lechler及びSonosys】(事例)半導体製造装置向けレヒラー社及びソノシス社製スプレーノズル【精密スプレーノズル及び超音波スプレーノズル】(改善/改良) 0016へのお問い合わせ
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