半導体製造装置用チラー

半導体製造装置向けに設計されたチラーです。

半導体製造プロセスで使用される多くの装置には発生する熱を除去、 一定温度を保つために冷却装置（チラー）が必要とされます。 ThermoFisherScientific社半導体製造用チラーは ・高い生産性 ・長期にわたる信頼性 ・操作ミスを誘発しない簡易な操作性 　が提供出来るようデザインされており、各社装置メーカー仕様に 　設計されたOEMモデルです。