フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきを改善。

主要エッチャーメーカーの製品に対応。

温度制御部は7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに
不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。

詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。