エムエス機器株式会社
最終更新日:2022-06-16 15:47:01.0
ペルチェチラーNIKOLA 3K / 5K
基本情報ペルチェチラーNIKOLA 3K / 5K
エッチャーの温度制御に好適!主要エッチャーメーカーに対応!
●詳しい製品スペックはカタログダウンロードよりご覧ください。
低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800
ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。
【特長】
■素早い温度応答性と高い温度安定性
■6Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
(詳細を見る)
消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack800』
ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。
【特長】
■素早い温度応答性と高い温度安定性
■6Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
(詳細を見る)
低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。
【特長】
■素早い温度応答性と優れた温度安定性
■4Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack401』
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。
冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。
【特長】
■素早い温度応答性と優れた温度安定性
■4Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減
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プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201』
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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温度制御チラー『ThermoRack1201』
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1201』
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
主要エッチャーメーカーの製品に対応!
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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フロン対策はお済みですか? 『NIKOLA3K/5K』
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
主要エッチャーメーカーの製品に対応!
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
(詳細を見る)
温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
主要エッチャーメーカーの製品に対応!
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
(詳細を見る)
プラズマエッチャーチラー NIKOLA3K/5K
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
主要エッチャーメーカーの製品に対応!
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
(詳細を見る)
消費電力大幅削減!ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
主要エッチャーメーカーの製品に対応!
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
(詳細を見る)
消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1801』
『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
(詳細を見る)
プラズマエッチャーチラー ThermoRack1201/1801
『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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取扱会社 ペルチェチラーNIKOLA 3K / 5K
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