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最終更新日:2022-06-16 15:47:01.0

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  • カタログ発行日:2017/2/3

ペルチェチラーNIKOLA 3K / 5K

基本情報ペルチェチラーNIKOLA 3K / 5K

エッチャーの温度制御に好適!主要エッチャーメーカーに対応!

●詳しい製品スペックはカタログダウンロードよりご覧ください。

低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800

低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800 製品画像

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。

 冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。

【特長】
■素早い温度応答性と高い温度安定性
■6Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減

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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack800』

消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack800』 製品画像

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。

 冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。

【特長】
■素早い温度応答性と高い温度安定性
■6Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減

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低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』 製品画像

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。

 冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。

【特長】
■素早い温度応答性と優れた温度安定性
■4Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減

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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack401』

消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack401』 製品画像

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに
最適です。

 冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。

【特長】
■素早い温度応答性と優れた温度安定性
■4Uスタンダード 19インチラックに収まるサイズで省スペース
■温度安定性:±0.05℃(無負荷または負荷一定時)
■フロン系冷媒不使用
■消費電力を大幅削減
■騒音・振動を低減

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プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201』

プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201』 製品画像

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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温度制御チラー『ThermoRack1201』 

温度制御チラー『ThermoRack1201』  製品画像

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1201』

消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1201』 製品画像

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』

フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』 製品画像

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

主要エッチャーメーカーの製品に対応!

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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フロン対策はお済みですか? 『NIKOLA3K/5K』

フロン対策はお済みですか? 『NIKOLA3K/5K』 製品画像

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

主要エッチャーメーカーの製品に対応!

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
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温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』

温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』 製品画像

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

主要エッチャーメーカーの製品に対応!

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
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プラズマエッチャーチラー NIKOLA3K/5K

プラズマエッチャーチラー NIKOLA3K/5K 製品画像

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

主要エッチャーメーカーの製品に対応!

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』

消費電力大幅削減!ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』 製品画像

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

主要エッチャーメーカーの製品に対応!

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1801』

消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1801』 製品画像

『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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プラズマエッチャーチラー ThermoRack1201/1801

プラズマエッチャーチラー ThermoRack1201/1801 製品画像

『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大93%削減
■冷却水使用量を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減
■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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取扱会社 ペルチェチラーNIKOLA 3K / 5K

エムエス機器株式会社

科学機器の輸入・国内販売及びアフターサービス業務。

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