ガス滅菌・殺菌器の製品一覧 (3ページ目)
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燃焼式排ガス処理装置です
本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成…
メーカー・取扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
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パイオクリン排ガス処理装置
【特長】 ・シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの 組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。 ・ガス検知器などのオプションを取…
メーカー・取扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社