WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置電子技研

基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

WETプロセス装置枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上
○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化

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関連リンク - http://www.denshigiken.co.jp/contents/seihin5.html

基本情報WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置

【特徴】
○基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、
　超音波洗浄、乾燥処理を行なう

【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置

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取扱企業WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置

株式会社電子技研

・真空プラズマ処理装置、貼り合わせ等各種真空装置、洗浄等各種ＷＥＴ処理装置、ＣＶ等のマテハン装置他、各種装置の開発・設計・製造・保守・プラズマ処理プロセス開発・プラズマ処理受託・温調器（チラー）修理、オーバーホール・他社各種装置の立上、保守メンテナンス請負、派遣・工場内設備保守/保全請負、派遣・工場内備品販売