株式会社電子技研　WETプロセス装置カタログ

WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサーは、基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○スピン＆スプレー併用により高精度で均一なプロセスを実現
○ダブルハンドロボットによる搬送
○現像/エッチング/乾燥等のプロセスを並列処理
○カップ洗浄機能付
○N2ブローと高速スピン回転により短時間での乾燥を実現

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WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッチングにより
　均一なプロセスを実現
○エッチング/シャワー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
○基板傾斜水洗機能による自然落下効果及び置換の高効率化

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WETプロセス装置 LCDカセット洗浄装置は、LCD等のカセットを高圧温純水スプレーにて洗浄後、HOTエアーブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○シンプルな機構設計で省スペース、省エネルギー化を実現
○カセット内側の専用ノズルによりコーム洗浄を行う
○圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現
○HOT-FFU搭載によるチャンバー加温システムを採用

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WETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置は、LCD用マスクをブラシ及びUSスプレーにて洗浄し、高速スピン回転により乾燥を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○インテリジェンスコントロールによるマスク基板へのソフトコンタクト
○メカニカルサイドグリップ方式を採用したマスクパターン非接触
○自動マスク反転機構を備えた両面洗浄技術
○マスクケースより自動取り出し収納機構
○超音波ノズルによるスキャンスプレー洗浄

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WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上
○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化

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WETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサーは、基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行ないます。
装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥）
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○優れたパーティクル除去性能
○高速スピン洗浄によるタクトタイムの大幅短縮が可能
○省スペースによるコンパクト化を実現

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