LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。
【特徴】
○ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッチングにより
均一なプロセスを実現
○エッチング/シャワー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
○基板傾斜水洗機能による自然落下効果及び置換の高効率化
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基本情報WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置
【特徴】
○LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、
乾燥処理を行なう
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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カタログWETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置
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