均一な吸着面の仕上げと微細な孔！穴微多孔吸着板(吸着プレート) 東レ・プレシジョン

「厚み1μm前後の薄膜固定」や「吸着性能向上させて生産性高めたい」等お悩みのある方、必見！※レーザー加工技術ハンドブック進呈中

フィルムや薄膜のワークを吸着固定する用途で
ワークの歪みを抑えて固定できる吸着パッド（微多孔吸着板)をご提案します。

【特長】
■厚み1μm前後の薄膜吸着が可能
■デリケートな薄膜シートへの吸着痕やシワを抑制
■高速な脱着動作が可能で離型しやすい
　(吸着ON/OFFの応答速度が速い)
　(多孔質吸着と比較して、エアーの圧損が小さく離型が容易)
■吸着領域は自由に設計可能
■メンテナンスが容易（目詰まりしても洗浄可能）

※お客様のご要望に応じた設計提案もお受けします。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

関連リンク - https://www.tpc.toray/

基本情報均一な吸着面の仕上げと微細な孔！穴微多孔吸着板(吸着プレート)

吸着プレートとは薄い製品(例えば薄板ガラス、薄膜フィルム、セラミックシート等)を吸着固定する治具・機器のことです。
製品を吸着する面を真空にすることで製品を安定して固定させます。
呼び方も吸着プレートの他、吸着板、吸着ステージ、真空チャック、バキュームチャック等と複数の呼び名があります。
吸着固定する方式は、微細孔を多数あけた金属板で製品を吸着固定する形式や多孔質材の板に吸着固定する形式などがあります。

【仕様】
最小孔径：Φ15～20μm加工精度孔径±10％～　※サイズ・材質・孔径により異なります
最小ピッチ：0.3ｍｍ位置精度±10μｍ以下
最大ワークサイズ：800×800ｍｍ
表面粗さ：吸着・離型の要望により異なりますご要望に合わせてカスタマイズ可能
適用材質：金属全般、
その他　※お気軽にご相談下さい
丸孔形状以外の異形孔・スリット加工も対応可能

【用　　途】
樹脂フィルムの固定
セラミックシートの固定
スクリーン印刷
ピックアップ＆プレイスユニット
ガラス基板の搬送での固定

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

価格情報	サイズ・仕様により価格が異なりますので、お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはお問い合わせください。

カタログ均一な吸着面の仕上げと微細な孔！穴微多孔吸着板(吸着プレート)

取扱企業均一な吸着面の仕上げと微細な孔！穴微多孔吸着板(吸着プレート)

東レ・プレシジョン株式会社

○合成繊維紡糸用口金の製造販売 ○FPD関連のスリットダイ、塗布ノズルの製造販売 ○インクジェットノズルの製造販売 ○光通信コネクター等光通信関連精密部品・デバイスの製造販売 ○航空機用、産業ロボット用・半導体製造装置・産業用機器用等各種精密部品の製造販売 ○燃料噴射弁、各種流体噴射ノズルの製造販売 ○金属3Dプリンターによる部品の造形販売・造形品2次加工サービス ○パーツフィーダの製造販売 ○エア交絡ノズル、精密計量ギヤポンプ等繊維機械類の製造販売 ○FIBによるSIM像の3D再構築解析サービス ○各種のMicro-Engineering業務