株式会社クォークテクノロジー

【技術資料】エキシマランプを用いた薄膜製造のプロセスの可能性

「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を利用！光CVD法の製膜速度についてご紹介

金属や高分子材料の表面に薄膜を製膜することにより、材料表面の 機械的性質、熱的性質、化学的性質、電気的性質をコントロールする ことができます。 この表面改質に用いる薄膜の製膜方法には、真空蒸…

【技術資料】ペルヒドロポリシラザンによるシリカ薄膜の形成

強い酸化作用を利用！照射条件を変えてVUV光を照射したときの膜質について検討

比較的低温の熱処理でシリカ膜を得る方法として、ペルヒドロポリシラザン等の セラミック前駆体ポリマーを大気中あるいは水蒸気中において450℃程度の温度で 焼成する方法が報告されています。 本研…

【技術資料】真空紫外エキシマランプを用いたポリエチレンの表面改質

波長172nmの真空紫外光をポリエチレンシートに照射！表面の改質について実験

1980年代後半に、誘電体バリア放電を利用した強力な真空紫外光源である キセノンエキシマランプが開発されました。 この光源で得られる波長172nmの光は、7.2eVという高いエネルギーを持ち、…

【技術資料】真空紫外エキシマランプの現状とその産業的応用

非熱過程で分子の結合を切断することが可能！半導体関連分野での応用についてご紹介

当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について ご紹介しております。 エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が 会合した二量体の総称。 …

【技術資料】真空紫外光を用いたポリマーの改質と照射雰囲気効果

真空紫外（VUV）光を用いた表面改質技術！改質効果の違いについて検討

高分子は軽量、フレキシブルなため、様々な用途で用いられており、近年 着目される手法に真空紫外（VUV）光を用いた表面改質技術があります。 VUV光は短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で…

【技術資料】湿式プロセスによるTiO2ゲル膜に対する光照射効果

薄膜形成プロセスの低温化に寄与！分解過程と結晶構造の変化について比較検討

耐熱温度の低いプラスチックなどの上に強固で緻密な膜を得るためには、 薄膜形成におけるプロセスの低温化が必要となります。 真空紫外（VUV）光を用いた光量子（フォトン）プロセスは、1光子あたりの…

【技術資料】キセノンエキシマ真空紫外光ランプの高出力化

1～2kW／m2の光照度の実現！高出力化に必要な要素技術の検討

1980年代の終わり頃、エキシマ発光を利用した高輝度な真空紫外光 ランプが開発されました。 例えば、キセノンガスを用いたエキシマランプでは、波長172nmの 真空紫外光を、100W／m2とい…

【技術資料】真空紫外光照射によるゾル－ゲル薄膜の改質

紫外・可視光透過スペクトルを分光光度計により測定！ゾル－ゲル薄膜の改質についてご紹介

均一な組成をもつコーティング膜を得る方法として有力なゾル－ゲル法は、 ゲル膜からの水分の除去や有機成分の分解には、通常、数百℃の熱処理を 要するため耐熱温度の低いプラスチック上に強固な膜を得るのは…

【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質

真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化するか検討

真空紫外（VUV）光は、短波長で光子エネルギーが高いため、 非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板に…

【技術資料】真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理

光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可能！

真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」 「大面積処理が容易」などの特色があります。 その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な 産業分野への応用が可能です…

紫外線ライト『eVIO』

有人環境下で使用できる安全性を確立！紫外線による空間・物体表面の除菌が可能

『eVIO』は、紫外線本来のウイルス抑制・除菌能力を保持したまま、人や 動物の体への影響を抑える新しい技術によって、従来の紫外線波長では 不可能だった有人環境下での使用を実現した紫外線ライトです。…

測定器『携帯式接触角計』

測定対象物の表面に置くだけで測定が可能！

『携帯式接触角計』は、表面処理を行う前後のウェーハ、フォトマスク等の 測定対象物の表面に置くだけで測定できる測定器です。 測定時に検体をカットする必要がなく、表面領域が小さな検体や、 曲面な…

測定器『照度モニタ』

エキシマ紫外線からLED紫外線まで各種対応可能な測定器！

株式会社クォークテクノロジーの照度モニタは、エキシマ紫外線からLED紫外線 まで各種対応しています。 計測波長によって3タイプのモニタがあり、それぞれ異なる波長の計測に 使用します。 …

UV-LED照射装置

長寿命！低消費電力！ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理が可能！

株式会社クォークテクノロジーのUV-LED照射装置は、ランプに比べ、寿命が 長く、消費電力が低く、ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理 できる装置です。 照射ムラが軽減され、冷却ユ…

エキシマ照射装置　チューブタイプ

従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！

株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面…

株式会社クォークテクノロジー 製品カタログ

光応用技術を利用した各種産業用設備機器を掲載！

当カタログは、主に紫外線照射装置製造販売・露光装置製造販売・その他、 各種石英、セラミック商品の取扱いを行う株式会社クォークテクノロジーの 製品カタログです。 半導体製造装置などの各種フィル…