【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

Si系半導体デバイスの作製ではイオン注入やアニール処理といった様々な処理が行われます。これらの処理前後における照射欠陥の度合いや結晶性の回復度合いを確認することは、製造プロセスを制御するにあたり重要と考えられます。低温下におけるフォトルミネッセンス(PL)測定は、これらを調査する際に有効な手段の一つです。
Si基板にイオン注入を行った後、アニール処理を行った試料のPL測定例を示します。

基本情報【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

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用途／実績例	太陽電池・パワーデバイス・LSI・メモリ・電子部品の分析です

カタログ【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温フォトルミネッセンススペクトル

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取扱企業【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

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