神津精機株式会社 高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』

ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能!ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に

『Dyvoceシリーズ』は、被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる
非接触形状測定システムです。

使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、
高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術
により、様々な測定が可能。

ラインアップ以外のステージサイズ(測定領域)に関しては、
ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能です。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に好適
■使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備
■ワークに合わせた専用ホルダの製作も対応
■御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っている
■実際に測定を試していただくことも可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』

【機能】
■測定駆動
・Dyvoce Measure(形状測定ソフトウェア) 
・Spider Measure(間引き測定)  
・GridMaker(複数ワーク一括測定)
■解析
・DyvoceAnalyzer(解析ソフトウェア)
・SORI・BOW(SEMI Stndard)
・レポート作成
■解析(オプション)
・マッピング補正
・自重たわみ補正

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』

取扱企業高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』

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神津精機株式会社

■汎用位置決めステージ、■真空位置決めステージ、■アライメントステージ、■各種制御機器、開発・設計・製造・販売

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