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X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バ…
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【ガイドブック進呈】精密な位置決めを実現するアライメントステージ
用途に適した位置決めステージを選定！単軸組合せや高剛性のYRAシリーズ、超高精度のRSTAシリーズなどをご紹介
製造過程において、製品の精度や品質を向上させるために正確な位置決めは重要です。 その中でも、アライメントステージには、標準的な位置決めステージに要求される精度はもちろんのこと、 追従性、位置安定性…
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【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ
お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ。改造や特注にも対応致します。
半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。 直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他…
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0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nm…
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タンジェントバー式小型自動回転ステージ『RA05A-T01』
高精度アライメントに好適な精度を実現！搭載装置全体の省スペース化に貢献します！
『RA05A-T01』は薄型化（22mm）により、搭載装置全体の省スペース化に 貢献するタンジェントバー式小型自動回転ステージです。 高精度アライメントに好適な精度と、タンジェントバー方式によ…
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位置決めステージ選定でお悩みの方へ。どの工程でどんな位置決めステージが使われているのかがわかる！装置の選定ポイントもご紹介
当資料は、半導体製造工程ごとに使用実績を掲載しています。 インゴットの位置決め用高荷重ゴニオメーター「ワイヤーソー」をはじめ、 完成までの前工程/後工程で使われる位置決めステージをご紹介。 …
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導入を検討中のお客様へ！サブミクロンオーダーの精度が求められる用途で使用頂いております
神津精機株式会社で取り扱う製品は、多くのデモ機を用意しております。 購入前に実際に操作をして、想定された用途で使用可能か、 ご確認頂けます。 購入は決めていないが、一度見てみたい、装…
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独自の内部構造によりサブミクロンの位置決めが可能に！当社の精密ポジショナーをご紹介
『FPP03-13』は、高分解能の位置決めを手動で可能にする 精密マイクロメータです。 独自の内部構造により、サブミクロンの位置決めが可能になりました。 最小読取りは0.5μm/1目盛（…
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薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを実現！
当社で取り扱う『ST07A-S1W/YMO7A-SIW』をご紹介いたします。 薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを 実現。従来型よりも高さが46mm（約50％）ダ…
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各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造の…
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構造がシンプルで、価格を抑えた仕様！ボールネジを採用しているので耐久性に優れています
当社で取り扱う、自動Zステージ『ZA07A-V201』をご紹介いたします。 ボールネジを採用しているので耐久性に優れ、高速移動が可能。 構造がシンプルで、価格を抑えた仕様になっております。 …
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低価格とサブミクロンの送り精度を両立した位置決めステージ。高耐荷重で活用の幅も広がります
神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。 【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来る…
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多様なモータ変更要求に対応できる製品など様々なアライメントステージをご用意！
当社では、小型デバイスの組立に適している『YRA-070』をはじめとする XYθ薄型アライメントステージシリーズを取扱っております。 多様なモータ変更要求に対応している『YRA-071』や、中…
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生産装置、分析装置で培ってきたノウハウを凝縮！
『USM-R1C-001』は、高精度・高剛性はそのままに、小型軽量化を実現した 超小型6軸マニピュレータです。 全軸ボールネジ駆動により、長寿命。 安定した精度を長期間持続し、再現します。…
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300種類を超える多彩なラインアップ！様々な組み合わせが可能です
『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽に…
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お客様の多様なニーズにお答え！様々な回転ステージのラインアップをご用意
科学実験ならびに研究開発において高精度な角度制御が不可欠です。 当社では高精度な角度制御に関するお客様の多様なニーズに応えるべく、 様々な回転ステージをラインアップしております。 ご用命…
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自由波形の駆動は解析に余裕のある64秒まで設定可能！様々な振動を再現します
『TSSシリーズ』は、デジタルカメラ・カムコーダやモバイル端末、監視 カメラまで様々な画像機器に搭載されるブレ補正機能の検証を行うもので、 手ぶれなどによる振動の再現ができるシミュレータです。 …
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ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能！ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に
『Dyvoceシリーズ』は、被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる 非接触形状測定システムです。 使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、 高精度ステージメーカな…
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回転3軸とZ軸にマイクロメータを採用！コンパクトな6軸ユニットをご紹介
当製品は、光ファイバーの調芯専用に開発された6軸ユニットです。 光軸Z軸(フォーカス方向)に対してのXY軸には、サブミクロンの位置決めが 可能な精密ポジショナー「FPP03-13」を採用。 …
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主な材質にSUSを採用！高い剛性を有しているゴニオメータをご紹介いたします
当製品は、同一の回転中心にて試料のアライメントが可能なゴニオメータです。 主な材質にSUSを採用しており、独自の摺り合わせ技術を用いることで、 高い剛性を実現。 動作軸はスイベル(ゴニオ…
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小型かつ高精度・高剛性を実現した6軸マニピュレータをご紹介いたします！
『MPS-SSSD-B010』は、液晶プロジェクタ、CCDカメラの素子を貼り付ける 際の微細な位置決めに好適な小型6軸マニピュレータです。 従来製品と比較して、小型化、軽量化、高剛性化を同時に…
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超精密位置決めステージ、真空ステージ、産業用システム製品などをラインアップ！
当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の 製品カタログです。 小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム 「Dyvoceシリーズ」や放…
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