GENERAL CATALOG Vol.22 製品カタログ

当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の
製品カタログです。

小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム
「Dyvoceシリーズ」や放射光施設用装置など多数掲載。

製品の選定にぜひご活用ください。

【掲載製品】
■システム製品/産業用
■システム製品/実験研究ソリューション
■位置決めステージ モンブランシリーズ
■真空対応ステージ
■制御装置
■アクセサリー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MPS-SSSD-B010』は、液晶プロジェクタ、CCDカメラの素子を貼り付ける
際の微細な位置決めに好適な小型6軸マニピュレータです。

従来製品と比較して、小型化、軽量化、高剛性化を同時に実現。高さを50%
ダウン、幅を40%ダウン、重量を30%ダウン、剛性を30%アップいたしました。

ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。

【特長】
■小型
■高精度
■高剛性化
■微細な位置決めに適している

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当製品は、同一の回転中心にて試料のアライメントが可能なゴニオメータです。

主な材質にSUSを採用しており、独自の摺り合わせ技術を用いることで、
高い剛性を実現。

動作軸はスイベル(ゴニオ)、θの2軸ですが用途に応じてXY軸を追加する
ことも可能ですので、ご要望の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
■試料のアライメントが可能
■主な材質にSUS採用
■高い剛性を有す

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当製品は、光ファイバーの調芯専用に開発された6軸ユニットです。

光軸Z軸(フォーカス方向)に対してのXY軸には、サブミクロンの位置決めが
可能な精密ポジショナー「FPP03-13」を採用。

旧モデルと比較して剛性が向上しているため、光ファイバー以外にも
調芯用光学測定器を搭載することが可能で、今までの調芯時間を大幅に
短縮できます。

【特長】
■光ファイバーの調芯専用に開発された製品
■回転3軸とZ軸：当社標準マイクロメータを採用
■精密ポジショナー「FPP03-13」を採用
■光ファイバー以外にも調芯用光学測定器を搭載することが可能
■今までの調芯時間を大幅に短縮できる

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『Dyvoceシリーズ』は、被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる
非接触形状測定システムです。

使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、
高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術
により、様々な測定が可能。

ラインアップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、
ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能です。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に好適
■使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備
■ワークに合わせた専用ホルダの製作も対応
■御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っている
■実際に測定を試していただくことも可能

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『TSSシリーズ』は、デジタルカメラ・カムコーダやモバイル端末、監視
カメラまで様々な画像機器に搭載されるブレ補正機能の検証を行うもので、
手ぶれなどによる振動の再現ができるシミュレータです。

軸構成がθX,θY、θZの「TSS-1000」と、θX,θZの「TSS-M0210Y」を
ラインアップ。

近年、高倍率化・高画素化が進むカメラにはブレ補正が必須となり、
なかでも重要な自由振動波形駆動に対応可能な振動台となっております。

【特長】
■高性能ピッチ・ヨー・ロール
■タッチパネル採用のコントローラ（TSS-1000のみ）
■簡単・使いやすいソフトウェア
■装置全体を搭載する箱型定盤もご用意（オプション）

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科学実験ならびに研究開発において高精度な角度制御が不可欠です。

当社では高精度な角度制御に関するお客様の多様なニーズに応えるべく、
様々な回転ステージをラインアップしております。

ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。

【ラインアップ】
■高荷重に耐えられる回転ステージ
■回転芯がぶれない回転ステージ
■微小領域での超高精度位置決めに特化した回転ステージ
■2つの回転軸が同軸に配置されたステージ 等々

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神津精機株式会社で取り扱う製品は、多くのデモ機を用意しております。

購入前に実際に操作をして、想定された用途で使用可能か、
ご確認頂けます。

購入は決めていないが、一度見てみたい、装置に組み込んで評価
してみたい等のご要望がありましたら、お気軽にご相談ください。

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半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。

直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。

それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。
カスタム事例も掲載しております。

選定の一助になる資料となっております。

Ｚステージの実力値も公開中。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）