10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。
FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。
10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージにスローダウンセンサが搭載されており、高速にロングストロークを高分解能に位置決めすることができるため、測定データの範囲が広くすることができます。
外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
基本情報10nmフィードバックステージコントローラ FC-514
型式：FC-514
接続対象ステージ：FS-3200PX、FC-511と同様のステージ
制御軸数：2
最小指令単位：10nm
インポジション範囲：±10nm（±30nm、±70nm 選択可）
最大動作速度設定：50mm/sec（接続ステージの性能が優先）
制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド）
電源：AC100V～240V
| 価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FC-514 |
| 用途／実績例 | 先端研究等の位置決め用途 光学系の位置決め マイクロデバイスの評価時の位置決め |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FC-514 | FC-511にスローダウンセンサ入力とORGセンサ入力に対応したもの |
| FC-511 | FC-501Aの後継機 |
カタログ10nmフィードバックステージコントローラ FC-514
取扱企業10nmフィードバックステージコントローラ FC-514
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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