5nm分解能で位置決め！再現性に優れ、可動距離がミリオーダー
■高分解能、再現性
コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、
高分解能で再現性に優れています。
■長ストローク
ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。
これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。
■制御
コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、
コマンド文字列をPC等から入力することでステージを制御することができます。
基本情報5nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
■ステージ
最小分解能：5nm（内蔵スケールの読み取り値に対して）
ストローク：20mm～50mm
最大移動速度：5mm/sec
■コントローラ
制御軸数：2
最小指令単位：5nm
最大動作速度設定値：30mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます）
制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置、レーザー加工装置への応用 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020SPX | 5nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストロークのステージ |
| FS-1040SPX | 5nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストロークのステージ |
| FS-1050SPX | 5nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストロークのステージ |
| FC-611 | 5nm分解能ステージ用のコントローラ |
カタログ5nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
取扱企業5nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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