【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。
ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。
フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。
基本情報1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
最小分解能：1nm
最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時）
ストローク：40mm
テーブルサイズ：□80mm
内蔵スケール：クオーツガラス
対応コントローラ：FC-911
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1040UPX / 1040UPXY |
| 用途／実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログ1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
取扱企業1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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