1nmフィードバックステージシステム　カタログ

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。
ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。
コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。

ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。

フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。

ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。

フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。
ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。
ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。 （詳細を見る）

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 （詳細を見る）

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。
フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。

位置決めの事なら何でもご相談ください。

■大気用システム特徴・説明
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。

■真空対応システム特徴・説明
創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。

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[新型フィードバックステージコントローラの特長]
従来品との互換性を残しつつ、
・通信コマンド数の増加
・ティーチング機能追加
・USBインターフェース追加
・パラメータ数増加
などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。

[高分解能位置決め装置の特長]
フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。
フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。

[導入メリット]
・高い位置決め再現性による作業効率の向上
・高分解能動作による微調整が可能
・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能

詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。

□ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□ （詳細を見る）

情報通信・半導体・バイオなどさまざまな分野で使用されているステージ。「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用しており、より精密な動作が必要な方が位置決めステージを選定するときに必要な情報を、まとめてQ&A形式で解説しております。

【Q&A掲載例】
■ステージとストロークのサイズはどのくらい？
■簡単に通信する方法は？シーケンサとの接続は可能か？
■オープンステージとフィードバックステージの違いは？
■位置決め時間はどのくらいか？
■どのようなところで使用されているか？…

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい  （詳細を見る）