シグマ光機株式会社 真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性能位置決めステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。

基本情報真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
 リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:60mm×60mm
○テーブル移動量:20mm
○繰返し位置決め精度:±20nm
○対応真空度:10^-4Pa
○最小分解能:10nm
○最大移動速度:2mm/sec
○対応コントローラ:FC-511

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FS-1020PX(V) / FS-1020PXY(V)
用途/実績例 走査型電子顕微鏡
X線利用技術
超微細加工
精密な位置決めや再現が必要な検査装置や
実験機などに利用されています。

カタログ真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

取扱企業真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作 が登録されているカテゴリ