【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。
移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが１台で可能だったり、広範囲のデータ（スペクトル等）が必要な場合に有効です。
基本情報真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：120mm×120mm
○テーブル移動量：100mm
○繰返し位置決め精度：±20nm
○対応真空度：10^-４Pa
○最小分解能：10nm
○最大移動速度：２mm/sec
○対応コントローラ：FC-511
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1100PX(V) / FS-1100PXY(V) |
| 用途／実績例 | 走査型電子顕微鏡 X線利用技術 超微細加工 精密な位置決めや再現が必要な検査装置や 実験機などに利用されています。 |
カタログ真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作
取扱企業真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作
-
-
■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
